機械真空泵可分為往復式（或稱活塞式）真空泵、機械增壓泵和油封機械真空泵等。往復式真空泵常用于真空蒸餾、真空蒸發、真空濃縮和真空干燥等工藝。這種泵的極限壓強到1.3kPa，最大抽速為每小時770立方米。機械增壓泵在1.3×10-3 kPa真空下有圈套的抽速，雙級式的極限真空可達1.4×10-7 kPa。

油封機械真空泵是使用最多的一種，它有單級、雙級式，但性能較差，目前有潤滑閥式真空泵，用于大型真空設備的排氣方面，應用較廣，單級泵極限真空可達1.3×10-4kPa，最大抽速為1200L/s。滑片式真空泵是所有低真空中使用最廣、生產品種最全的泵，常用于真空冶煉、真空干燥、真空處理、電子器件排氣等，也可以作為高真空的前級泵，極限真空1.3×10 -4～1.3×10-5kPa。

機械真空泵的特殊工作條件要求真空泵油應具有以下性能：

（1）極低的蒸汽壓：這是真空泵油的最重要性能，由于真空泵要求真空度達到1.33×10-4Pa（或10-6mmHg），高的要求達到1.33×10-6Pa（10-8mmHg）以下，這就要求真空泵油的蒸發性極低，而且要求消耗量極少，以防蒸發。一般要用石蠟基窄餾分潤滑油，對于擴散真空泵，還可使用蒸汽壓很低的硅油或其它合成油。

（2）合適的粘度和良好的粘溫特性：真空泵腔內容積不斷變化而形成排氣作用，要求潤滑油應具有合適的粘度和良好的粘溫特性。

（3）良好的熱氧化安定性：真空泵不斷向高速度發展，由于滑片和泵體的高速摩擦使油溫升高，油品很容易氧化分解。而擴散泵往往處于很高的環境溫度（可達200℃）下工作，使系統內蒸汽壓升高，真空度降低，因此要求真空泵油具有良好的熱氧化安定性。

（4）良好的抗腐蝕性與抗乳化性：真空泵吸入的如果是腐蝕性氣體，會與油發生化學變化，腐蝕泵內金屬零件。另外，吸入空氣中往往含有水汽冷凝水，引起真空泵油的乳化并使金屬腐蝕，故要求有良好的抗腐蝕性與抗乳化性（水分離性能）。在真空脫水工藝使用的真空泵油的乳化更為突出。

（5）較高的閃點：主要要求真空泵中不攜帶輕質組分，以免影響油品的飽和蒸汽壓。

（6）較低的極限壓力：極限壓力是真空泵油重要的使用性能指標，以了解在最低真空極限壓力下真空泵的極限壓力。